由气氛分析系统、过程控制系统和流量控制模块组成的保护气氛退火控制系统，能提供先进智能化的毫伏值或PF值控制，可为客户提供退火工艺的全自动控制系统解决方案。特别适用于井式炉、罩式炉、STC炉等炉型。

气氛分析模块

l 专为退火炉设计的SPD低温直插式氧探头，采用特殊的氧化锆陶瓷做敏感元件，在500℃以上即可显示炉内氧毫伏值，可几乎适用于所有的退火气氛

l 红外分析模块适用于吸热式或放热式气氛的CO和CO2测量，并提供PF值的计算模块

l 可选配一体式低温氧探头，用于排空阶段炉内氧含量的测量，节约N2使用量的同时缩短工艺时间，提高设备利用率

流量控制模块

l N2智能流量控制器

l RX气智能流量控制器

l CH4或C3H8智能流量控制器

过程控制模块

l 基于MCGS触摸屏开发的集监视、控制和记录为一体的退火通用控制器，能够程序化地实现整个退火工艺的温度-流量-PF值/毫伏值全自动控制过程。

特点

l 精确的流量控制±2.5%F.S.

l 精确的PF值控制±5

l 可节约工艺气体的消耗量